AST PJ 等離子體表面處理儀
AST PJ 等離子體表面處理儀 可用于消除固體表面的有機(jī)污染物，如：金屬、陶瓷、玻璃、硅片等等，同時(shí)也可以對(duì)樣品表面進(jìn)行處理，改善樣品表面的特性，如親水/疏水特性，表面自由能，以及表面的吸附/粘附特性等等。
主要特點(diǎn)：
（1）采用電容耦合電極設(shè)計(jì)（US Patent. 4,887,005/5,190,703/5,228963/5,468,560/5,733,511），低失真、高效率的特性，保證了樣品室內(nèi)等離子體分布的均一性；
（2）采用自動(dòng)調(diào)頻高頻發(fā)生器，保證了等離子體發(fā)生的穩(wěn)定性和有效性；
（3）采用高精度的流速控制和壓力控制部件，保證了氣體的高重現(xiàn)性混合和分布；
（4）采用軟件控制，確?？刂频姆奖阌行Ш蛯?shí)時(shí)監(jiān)控；
（5）一體化的高真空系統(tǒng)，確保了操作的方便性和穩(wěn)定性；
（6）多種樣品室可供選擇，如耐熱玻璃和石英等，更能滿(mǎn)足廣大客戶(hù)的需求多；
（7）體積小，可遠(yuǎn)程操作，多種安全保護(hù)，保證操作的安全和方便；
（8）樣品室和功率設(shè)計(jì)合理，可滿(mǎn)足絕大部分科研需要；
（9）全自動(dòng)操作，方便可靠。
應(yīng)用領(lǐng)域：

（1）醫(yī)用材料的研究方面，主要是研究和生產(chǎn)企業(yè)
（2）電子領(lǐng)域，如電路板的生產(chǎn)
（3）生物芯片領(lǐng)域
（4）高分子材料研究單位，尤其是進(jìn)行特殊處理的
（5）儀器的實(shí)驗(yàn)室，作為清洗除污工具，保證儀器的正常使用
（6）光學(xué)材料單位
（7）電化學(xué)方面，進(jìn)行表面處理的單位
（8）其他，主要進(jìn)行表面處理的單位
技術(shù)參數(shù)：
射頻功率：300W 13.56 MHz
交流電源匹配: 自動(dòng)匹配
控制: 軟件控制
尺寸: 61 X 61 X 30 cm, 重量： 75 lbs
樣品室: 直徑20.3cm,深25.4cm
標(biāo)準(zhǔn)耐熱玻璃內(nèi)襯，可選石英內(nèi)襯
一種氣體供應(yīng)
氣體供應(yīng): 包括一個(gè)MFC
可選擇: 氧氣供應(yīng)泵
氣體過(guò)濾器
壓力計(jì)
截流閥
真空泵, 11 cfm, 115v, 15 amp
真空泵過(guò)濾系統(tǒng)
2nd MFC
計(jì)算機(jī)
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